综合外媒报道，当地时间7月14日晚9点30分左右，光刻胶供应商陶氏化学（Dows Chemical）位于美国路易斯安那州的普拉克明（Plaquemine）工厂发生爆炸。 针对此次事件，陶氏化学公司发表声明称，该工厂7月14日发生火灾，正在与当地和州机构密切合作以应对该事件。已查明所有人员均安全，空气监测未检测到空气中的有害物质。至于事故原因，目前还在调查当中。 据悉，陶氏化学为全球半导体关键化学材料的重要供应商，陶氏化学不仅拥有高纯度化学品产品线，还提供了一系列的光刻材料，包括光刻胶、光刻胶溶剂、光刻胶辅助剂等。同时，陶氏化学还是全球重要的CMP（化学机械抛光技术）材料供应商，包括抛光垫、抛光液等。 去年4月份，普拉克明-路易斯安那州的陶氏化工厂发生火灾，并导致了氯气泄漏。据悉，发生事故的公司是Olin公司，该公司是陶氏化学在普拉克明地区的第三方租户。 （校对/孙乐） |
